數(shù)據分析

? 支持csv、log、std文件導入

? 可進行單個文件、多個同類的文件的疊加，實現(xiàn)正態(tài)分布等圖形化分析，導出excel報告

? 和MES、EAP連接，自動導入計算CPK、MEAN、STDEV，和參數(shù)的預定閾值進行比較，實現(xiàn)lot過站時的自動判定。通過自動化計算的過程管控，提高芯片設計外包生產的聯(lián)動效率和質量

map處理

? 支持map格式轉換

? 支持map工序的疊加，手工點除

? 支持PAT、GBDN、Cluster等map手動和批量處理

? 支持按照wafer id生成測試報告